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一種高壓研磨器具

申請號/專利號： 200310109591
本發明提供一種高壓研磨器具及其使用方法，利用一種具有高壓噴嘴的整理器噴出溶液對研磨墊進行調節，避免了現有工藝中為使研磨墊有較好狀態，需施加一較大的作用力于鉆石整理器，導致晶片表面損傷與鉆石整理器的消耗，本發明還可配合現有的工藝設備設計來使用，并且使用方便。
申請日： 2003年12月18日
公開日： 2005年06月22日
授權公告日：
申請人/專利權人： 上海宏力半導體制造有限公司
申請人地址： 上海市浦東新區張江高科技園區郭守敬路818號
發明設計人： 黃文忠
專利代理機構： 上海光華專利事務所
代理人： 余明偉
專利類型： 發明專利
分類號：
B24B37/04;B24B55/00;H01L21/304
標簽：高壓磨    一種高壓研磨器具
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