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晶片輸送機臺

申請?zhí)?專利號： 200910265509
本發(fā)明有關(guān)于一種晶片輸送機臺，其主要包括有一第一輸送單元、一第二輸送單元、一漂浮式輸送單元及至少一引導(dǎo)單元，其中漂浮式輸送單元設(shè)置在第一輸送單元及第二輸送單元之間，并用以將晶片由第一輸送單元傳送至第二輸送單元，引導(dǎo)單元設(shè)置在漂浮式輸送單元的側(cè)邊，并用以對漂浮式輸送單元上的晶片進(jìn)行導(dǎo)正，使得通過漂浮式輸送單元的晶片被引導(dǎo)至第二輸送單元的固定或鄰近區(qū)域，此設(shè)置在第二輸送單元上的檢測單元將可以對晶片的相似區(qū)域進(jìn)行量測。
申請日： 2009年12月25日
公開日： 2010年06月16日
授權(quán)公告日：
申請人/專利權(quán)人： 立曄科技股份有限公司
申請人地址： 中國臺灣新竹市
發(fā)明設(shè)計人： 黃志浩
專利代理機構(gòu)： 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
代理人： 梁揮 祁建國
專利類型： 發(fā)明專利
分類號：
H01L21/677;H01L21/683
標(biāo)簽：輸送機    晶片輸送機臺
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