公開一種用于熱成像評估濺射靶組件的結(jié)合完整性的方法和裝置。該方法包括對組件的一個(gè)表面施加加熱或冷卻介質(zhì)或能量，并且使用成像裝置獲得在組件的相反表面上的相應(yīng)溫度變化的圖形記錄。還公開一種數(shù)學(xué)分析記錄每一幀中的像素?cái)?shù)據(jù)的方法，以生成表示組件的結(jié)合完整性的積分的歸一化溫度圖。