一種濺射靶，是形成有腐蝕部以及非腐蝕部的板狀靶，其特征在于，其表面積超過當(dāng)假定靶為平面時的表面積的１００％，并且低于１２５％。一種濺射靶，是形成有腐蝕部以及非腐蝕部的板狀靶，其特征在于，在靶表面區(qū)域具有１個或多個凹部，靶的表面積超過當(dāng)假定靶為平面時的表面積的１００％，并且低于１２５％。通過進(jìn)行自濺射或高功率濺射，在靶的全部壽命中，通過將濺射電路中的電壓變動控制為盡可能小，從而可使用容量較小、價廉的電源裝置。