本發明是關于一種空氣干燥機的空氣干燥裝置，本發明是使用加壓／泄壓循環裝置，以使裝滿干燥劑的第一管體于加壓，產生一段時間的干燥空氣后，可使干燥空氣輸出供晶圓廠放置晶圓的密閉柜使用，泄壓以使連通二裝滿干燥劑的管體的閥于關閉先前加壓第二管體內部空間，再打開另一裝滿干燥劑的第二管體進行加壓，并可使干燥空氣輸出供晶圓廠放置晶圓的密閉柜使用，當泄壓的空間經單向閥的旁通路變成與第一管體內部空間壓力相等，當第二管體內部空間于泄壓后，再使第一管體加壓，經由第一、第二管體不斷交替使用，可以將干燥空氣不斷輸送至放置晶圓的密閉柜而使用，可達到零件少與成本低的目的。